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小型直流磁控溅射仪

简要描述:小型直流磁控溅射仪,触摸屏控制,时间调节电流控制功率,还可调节镀膜时间,有工艺储存功能方便下次使用和工艺一致

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-11-15
  • 访  问  量:66
详细介绍
品牌郑科探溅射气体氩气
样品台尺寸50mm控制方式触摸屏控制
样品仓尺寸φ160mm靶材尺寸φ50mm
靶材材质金银铜镍铁铬等价格区间1-5万
产地类别国产应用领域综合

小型直流磁控溅射仪

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作

小型离子溅射仪信息由南京舜仪实验设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于小型离子溅射仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体

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小型直流磁控溅射仪技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口









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