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高精度流量计气体配比器

产品简介

高精度流量计气体配比器,触摸屏控制七星质量流量计,分段流量设置,操作简单,数据备份可记录工艺储存

产品型号:KT-C3ZS
更新时间:2024-03-29
厂商性质:生产厂家
访问量:978
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品牌郑科探价格区间面议
产品种类质量式介质分类气体
产地类别国产应用领域综合

高精度流量计气体配比器

CS系列产品采用了先的技术,申报并获得66项国家z利,其中PCT2项,发明z利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷,可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。

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高精度流量计气体配比器资料                                                                                    ;

产品型号

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

 气体通道

41

41

可根据需求定制

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制

可选量程

20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)

产品精度

高精度型±1%F.S

普通型±1%F.S

重复精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

线性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

响应时间

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

最大功耗

40W

进气口压

0.6MPa

连接管道

316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

0.02Mpa

压力显示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-32000分钟

清洗功能

一键清洗

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路)

气体混合罐

有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)

气体加热

无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调)

流量累计

有(累计当前运行总流量)

可选进出气口接头形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG~20KG




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