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桌面小型离子溅射仪

简要描述:桌面小型离子溅射仪本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-10-18
  • 访  问  量:85
详细介绍
品牌郑科探溅射气体氩气
样品台尺寸50mm控制方式触摸屏
样品仓尺寸160x170mm靶材尺寸φ50mm
价格区间面议产地类别国产
应用领域综合

桌面小型离子溅射仪

离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。


离子溅射仪在扫描电镜(SEM)的样品喷金方便为专用的仪器,样品的导电性及导热性可以非常有效的提供,使恒沉积速率得到确保,使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少,使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。



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桌面小型离子溅射仪技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口






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