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CS200质量流量计气体配比器

简要描述:CS200质量流量计气体配比器,CS200采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。

  • 产品型号:KT-C4ZS
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-09
  • 访  问  量:167
详细介绍
品牌郑科探价格区间面议
产品种类其他介质分类气体
产地类别国产应用领域化工,电子

CS200质量流量计气体配比器 


CS200质量流量计气体配比器 KT-C4ZS模拟质量流量控制器 高精度型,快响应型 流量控制 流量检测 国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

CS200气体质量流量控制器,采用先进传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化,所需流量更加精准。

采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。

• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVVCS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。

产品支持RS485DeviceNet通讯方式。

具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

技术参数

CS200

类型

CS200-A

CS200-C

CS200-D

阀类型

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

或常闭

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

或常闭

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

或常闭

流量规格(N2)

(05,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(02,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)   SCCM
  (0
1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
  ±0.35% F.S.(
35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作压差范围

0.050.35MPa 流量规格≤10SLM
  0.1
0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
  0.2
0.45MPa 30<流量规格≤50SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量规格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量规格>10SLM

0.02 MPa

0.050.35MPa
 
流量规格≤10SLM
  0.1
0.35MPa
 
流量规格>10SLM

0.02 MPa

最大工作压力

0.45MPa

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S./
 
调节时: ≤±0.1% F.S./ 流量规格≤30SLM
 
调节时: ≤±0.2% F.S./ 流量规格>30SLM

零点: ≤±0.02% F.S./
 
调节时: ≤±0.05% F.S./

耐压强度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡胶

金属密封

工作环境温度

545

050

输入信号

数字: RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模拟:(05)VDC (420)mA (020)mA

数字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模拟:(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

数字: RS485
 
DeviceNet
 
ProfiBus
 
模拟:(05)VDC
 
(420)mA
 
(020)mA

输出信号

数字::RS485 DeviceNet ProfiBus
 
模拟:(05)VDC (420)mA (020)mA

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./

电源

±8 ±16 VDC (双极) +14 +28 VDC (单极)

表面化学成分

常态

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃)

常态

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

标准接头形式

双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3
 
双卡套 1/8´´VCO   1/4";φ6()x1 软管接头; φ5()x1.5 软管接头;
  φ4(
)x1 软管接头;双卡套φ10mmA 型密封接头;

双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4VCR1/4 阳接头;
  1.5´´C
型密封接头;1.5´´ W型密封接头

电源接头形式

D 9 针阳接头;D 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

 


 


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