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低温真空探针台郑科探

产品简介

低温真空探针台郑科探主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

产品型号:
更新时间:2024-03-29
厂商性质:生产厂家
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品牌郑科探

低温真空探针台郑科探主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。


    低温真空探针台郑科探的承载台为60x60不锈钢台面,台面最高可升温到最高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围:030mmy方向调节范围:020mmz方向调节范围:020mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测


参数;

真空腔体


加热型

冷热型

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

35-350℃

-196-350℃

加热台温控误差

±1

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允许正压

0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V  漏电流 ≤-10次方安培

探针数量

4探针

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

0.01mm

Y轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Y轴控制精度

0.01mm


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