郑科探KT-150MCF无油分子泵组

科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等

主要技术要求

1．    控制方式：手动人机界面控制

2．    前级泵：涡轮式真空泵（无油干泵）

3．    前级泵抽气速率：12.2m3/hr

4．    前级泵极限压强：≤5Pa

5．    分子泵：FF-100/150 42240转/分

6．    分子泵抽气速率：150L/S

7．    分子泵启动时间：≤2min

8．    空载极限压强：≤1X10-5Pa

9．    真空测试方式：电阻真空计+冷阴极标准规管

10．真空测量范围：冷阴极标准规管 1E5到1E-5 Pa

11．真空测量精度：1E 5到1E 3 Pa  ±50%的读数  

1E 3到1E 0 Pa  ±30%的读数 1E 0到1E -1 Pa ±50%的读数 1E -1到1E -5 Pa ±30%的读数

12．抽气接口：粗抽KF25 高真空 KF40

13．阀门类型：KF40手动挡板阀

14．系统电源：AC220V

15．系统功率：1．2KW

16．环境温度：5~32℃

17．冷却方式：强制风冷却

18．湿度: ≤80%

19．噪音: ＜60分贝

20．外形尺寸: 325X495X560mm

21．重量: 45KG