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产品简介
质量流量计多种气体混合配比器PC在线气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
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|---|---|---|---|
| 产品种类 | 其他 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子 |
PC在线气体配比器
产品用途;
质量流量计多种气体混合配比器PC在线气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
质量流量计多种气体混合配比器该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用CS200或CS100质量流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术资料;
产品型号 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |
控制方式 | PC软件在线控制 | 7寸触摸屏智能调节 | |
产品类型 | 低零漂及温漂型/超高精度型/数字PC控制/快响应型/ | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | |
可选量程 | 5sccm-50slm(气体量程根据客户需要可选) | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | |
产品精度 | ±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.) | ±1％F.S | |
重复精度 | ±0.2% FS | ||
线性 | ±0.5% F.S. | ±0.5% F.S.
| |
响应时间 | ≤1sec | ≤2sec | |
工作温度范围 | (5~45)°C | ||
供电电源 | ~85-265VAC 50/60Hz | ||
最大功耗 | 40W | ||
进气口压 | ≤0.6MPa | ||
连接管道 | 316不锈钢管道 | ||
截止阀类型 | 手动截止阀 | ||
单向阀开启压力 | 0.02Mpa | ||
压力显示量程 | 0-0.6Mpa机械压力表 | ||
时间设定 | 0-32000分钟 | ||
通信口 | USB-485 | ||
程序控制 | 多段程序控制上位机软件控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | |
气体转换 | 有（可更换气体并设置气体系数） | ||
压力显示 | 不锈钢机械压力表 | ||
气体混合罐 | 有（内部添加扰流挡片混合均匀） | ||
气体加热 | 无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温-350℃可调） | ||
可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | ||
抗电磁干扰 | 有 | ||
外形尺寸 | 550X380X400 | ||
重量 | 18KG～20KG | ||
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