真空腔体气体传感器

   真空腔体气体传感器主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电化学信号测试。真空腔体气体传感器可扩展模块较多，该腔体设计有进气口和抽真空接口和4-8芯信号真空电极及真空计接口，上部安装有φ80石英观察片方便观察样品和光学用途。

1、测试腔、控温及加热系统 

测试夹具要求：可实现XYZ移动；

测试腔：同时满足静态/动态测试，304不锈钢材质，可在紫外灯下保证气密性测试；

测试样品数：同时测试8个样品，可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试；

测量温度：室温---300 ℃

控温精度：±1 ℃

显示精度：±0.1 ℃

测温传感器：PT100

升温斜率：1-10 ℃/min

通讯类型：RS485

加热功率：500 W

测试腔容积<2 L

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