产品展示
PRODUCT DISPLAY
产品展示您现在的位置: 首页 > 产品展示 > 实验室搭建 > PECVD 射频模块 >PECVD射频模块

PECVD射频模块

产品时间:2020-04-02

简要描述:

PECVD射频模块通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统CVD系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。

在线咨询 点击收藏

      KT-PE500ZPECVD射频模块是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统CVD系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。

PECVD射频模块产品参数:

型号

KT-PE150S

KT-PE500Z

信号频率

13.56MHz±0.005%

 

功率输出范围

0-150W

0-500W

功率稳定度

≤5W

 

最大反射功率

40W

 

射频输出接口

7/16,female  50 Ω

 

功率稳定度

≤5W

 

匹配方式

手动调节匹配

500W自动匹配

耦合方式

电感式耦合

 

辉光压力

≤30Pa

 

供电电压

50/60Hz 220v±10%

 

整机效率

≥70%

 

冷却方式

强制风冷

 

支持炉管直径

φ25-φ80

φ25-φ150

感应区

210mm

 

整机重量

48KG

 

整机尺寸:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服