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1000度探针台的相关知识点介绍

发布时间:2022-05-10浏览:133次

  1000度探针台的夹具及电缆组件。探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。根据测量应用,可粗略地划分为以下几种:I-V/CV测试用、RF测试用、高压大电流I-V/C-V测试用等。待测点需要测试探针的连接,才能与测试仪器发生交流。常见的有:普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针。
 
  1000度探针属于整个测试系统的基础,没有探针台,就相当于医生没有了手术台,在普通的病床上给病人做手术将增加手术风险。探针台可按实现目标功能不同划分成三部分:显微镜、承载平台和精密移动组件。
 
  (1)显微镜。没有该配置,所有精密操作将无从谈起。目前行业内常见的配置有三种:体视显微镜、金相显微镜、单筒显微镜,前两种用得多。
  (2)承载平台。该部分是构成探针台骨架,可分为显微镜支架、定位器平台和样品台(载物台)。不同的显微镜,显微镜的支架会有所不同,通常有立柱安装和龙门安装两种配置。定位器平台用于放置定位器(探针座)、形状和尺寸根据测试应用不同会有不同的设计形式。样品台(载物台)用于承载待测样品,通常根据晶圆尺寸设计,常用的尺寸从2~12英寸。除了承载样品的功能,样品台还可根据测量需求,设计为带测量通路和带精密控温的形式。
  (3)精密移动组件。以上承载平台都配套了相应的移动定位功能,方便用户对显微镜、待测样品及定位器进行精密的移动。通常有X-Y-Z-R-T这些方向移动功能。

 

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