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微型真空探针台在晶圆测试中的使用

发布时间:2022-04-21浏览:30次

  微型真空探针台可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持高67GHz频率),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件的IV/CV特性测试等。
  微型真空探针台在晶圆测试中的使用:
  晶圆测试(Chip Probing,简称CP),是指用探针对生产加工完成后的晶圆产品上的芯片或半导体元器件功能进行测试,验证是否符合产品规格。
  测试过程需要探针和测试机配合使用,探针台将晶圆逐步自动传送至测试位置,芯片的引脚通过探针、专用连接线与测试机的功能模块进行连接,测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号,判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求。测试结果通过通信接口传送给探针台,探针台据此对芯片进行打点标记,形成晶圆结果映射图(Mapping),尽可能将无效的芯片标记出来以节约封装费用。
  微型真空探针台在成品测试中的使用:
  成品测试(Final Test,简称FT),又称终测,是指对封装完成后的芯片进行功能和电参数测试,保证出厂的每颗芯片的功能和性能指标能够达到设计规范要求。芯片设计验证的测试环节与成品测试环节较为相似。
  测试过程需要分选机和测试机的配合使用,分选机将被测芯片逐个自动传送至测试工位,被测芯片的引脚通过安装在测试座上的探针与测试机的功能模块进行连接,测试机对芯片施加输入信号并采集输出信号,判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求。测试结果通过通信接口传送给分选机,分选机据此对测试芯片进行标记、分选、收料或编带。

 

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