等离子清洗机常用的气体有氧气 、氩气 、氮气、压缩空气 、二氧化碳 、氢气、四氟化碳等，它是将气体电离产生等离子体对工件进行表面处理，无论是进行清洗还是表面活化，为达到好的处理效果会选用不同的工艺气体。
等离子清洗机的表面粗化又称表面刻蚀，其目的是提升材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工艺结合力，经处理后的表面张力会明显提升。活性气体所产生的等离子体也可以增加表面的粗糙度，但氩气电离后产生的粒子相对较重，氩离子在电场的作用下的动能会明显高于活性气体，所以其粗化效果会更加明显，在无机物基材表面粗化工艺中应用广泛。如玻璃基材表面处理、金属基材表面处理等。
在等离子清洗机的活化和清洗工艺中，工艺气体经常被混合使用，以达到更佳的效果。因为氩气的分子比较大，电离后产生的粒子比较后，在进行表面清洗和活化时通常会配合活性气体混合使用，常见的就是氩气和氧气的混合。氧气为高活性气体，可有效地对有机污染物或有机基材表面进行化学分解，但其粒子相对较小，断键和轰击能力有限，如加上一定比例的氩气，那么所产生的等离子体对有机污染物或有机基材表面的断键和分解能力就会更强，加快清洗和活化的效率。
氩气与氢气混合应用在打线和打键工艺中，除增加焊盘粗糙度外，还可以有效去除焊盘表面的有机污染物，同时对表面的轻微氧化进行还原，在半导体封装和SMT等行业中被广泛应用。
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更新时间：2021-01-19
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