溅射仪使用常见问题和维护

问：在使用中为什么有些金属镀不上？

答：直流磁控溅射仪器针对不同金属需要调整不同的参数，靶材厚度、本底真空度、氩气环境、电流大小、磁场强弱都对镀膜起着决定性的作用。比较容易镀的金属铜、银、金等，日常镀膜不容易镀的金属铬、镍、铝、钛等

问：为什么刚开始使用时可以镀上，用过一段时间就不太好镀了？

答：可能存在磁场减弱，导致磁场无法穿透有些靶材。形成原因可能是在镀膜时候忘记打开水冷机，高温导致靶头字长减弱，磁场很难穿透厚的样品，难以起辉。建议在选择靶材的时候可以选择薄一些的靶材，且在设备使用时候先打开水冷机，避免操作失误导致磁场减弱。

问：真空度在越来越难以抽下去怎么办？

答：1、镀膜越久，腔体内部积累的膜层越厚，此时各种缝隙很容易藏空气，导致真空度难以抽下去，建议在使用一段时间后，草酸清洗内部涂层。若涂层难以去除，可用砂纸或者钢丝球打磨，注意不要破坏玻璃罩上下边缘。

2、玻璃罩在使用过程中会不小心磕碰到边缘，会出现细小的裂纹及豁口，导致真空度下不去，如果是这种情况建议及时更换。3、在操作过程中，玻璃罩需要经常取下，导致玻璃罩上下密封圈污染，密封不严。可以每次在测试之前用棉签擦拭密封圈及玻璃罩上下边缘。

问：在溅射时电压上升至1000V，或者低于300V导致不起辉或者起辉不正常？

答：上升至1000V是设备短路，将靶材罩拧开一些，距离靶材压环大概3mm左右。电压低于300V是靶材接触不良，将靶材取下，用细砂纸打磨靶材和底座，使其接触良好，若靶材太薄，可用铜靶材当作背板。

问：使用时候设备打火是什么情况？

答：靶头底部有个peek绝缘板，长时间边缘会镀上金属，这样在镀膜时导致短路打火烧坏。如果已经出现烧坏的现象需要把绝缘板卸下来用砂纸打磨下再装回去或者直接更换新的。建议使用一段时间后打磨绝缘板，避免金属涂层积累。

设备维护：

1、每次做完实验后，如果长时间不用，可以运行真空泵，保持腔体内密封，避免内部污染。

2、腔体内部涂层积累及时清理，确保本底真空度，使镀膜时达到一个更好的状态。

3、设备运行时先打开水冷机，避免因高温消磁靶座。

4、及时打磨PEEK绝缘板，避免沉积过多金属层导致短路。

5、应避免电源工作在周围有挥发性可燃液体、腐蚀性液体、导电纤维粉尘较多的场所。

6、请勿在设备上面放置较重的杂物和盛有液体的容器，应避免电源遭受雨水浸淋和日光直接照射。