技术文章
Technical articles探头故障现象、原因及排除方法1、沉积期间厚度读数大跳变a.不良晶片产生解决方案:更换晶片b.晶片接近其使用寿命解决方案:更换晶片c.晶片支承座表面有杂物解决方案:用酒精或细砂皮清洗支承座d.来自溅射源的频率干涉解决方案:检查接地,仪器远离溅射源2、沉积期间晶体停振,但晶片寿命未到a.晶片被来自镀膜源熔化材料小熔滴撞击解决方案:镀膜起始阶段用档板遮蔽后移开b.不良晶片解决方案:更换晶片c.晶片支承座内腔表面有杂质解决方案:清洗3、晶体在真空中振荡,单暴露空气后停振a.晶体接近使...
直流负压溅射和直流溅射在直流溅射中,带正电的离子被吸引到接地的、带负电的溅射靶上,从靶材上溅射出原子,然后这些原子在样品(也称为衬底)上沉积形成薄膜。通常情况下,溅射靶被接到正极,而样品端(衬底)被接到负极或接地。然而,有些情况下(如反溅射或偏压溅射),样品端会被接到正极以吸引多余的离子,从而实现清洁衬底表面或形成离子轰击确保薄膜和基底的结合强度。这种电源连接方式可以提高薄膜的层内应力,改善其结晶性能,以及提高薄膜沉积效率。这种操作需要一定的注意事项,因为样品端上高电压可能会...
微型探针台是一种可以在不同温度下对材料进行电学性能测试的设备,它有多种类型和应用,主要用于科学研究和教育实验。微型探针台的工作原理是通过探针与样品接触,形成电路,然后通过电学仪表测量样品的电阻、电容、电流、电压等参数,从而分析材料的特性。微型探针台可以测试不同尺寸和形状的样品,例如晶圆、芯片、封装器件、光电器件、材料片等。微型探针台是一种高精度、高效率、高灵活性的测试设备,对于推动材料科学和半导体技术的发展有重要作用。优点:体积小,便于搬运和安装。精度高,能够对微米级的样品进...
高温蒸镀的时候,靶材和坩埚应该怎么选择蒸镀镀铝建议客户用陶瓷坩埚:用钨舟的话容易附着上边且铝融化后有一定的浸润会与钨舟形成合金钨舟容易脆裂断开,铝极易氧化可以多抽一会真空真空度越低效果越好蒸镀镀镍建议客户用钨棒惨绕镍丝,钨舟很薄在一定温度下化合生成合金相加速钨的断裂解决方案:用1.5-2mm的钨棒长度95-100中间10mm处绕高纯镍丝(缠绕紧密一些可惨绕2层)
小型蒸镀仪的工作环境需要保持极低的气压,通常在10-4至10-7帕之间。这种低气压环境能够有效减少氧气和水蒸气对材料表面的反应,从而避免蒸镀过程中可能产生的氧化等不良反应。真空系统通常由泵、阀门、压力计和真空室等组成。小型蒸镀仪的使用方法:1.准备工作:先将蒸镀仪所需的材料和设备准备齐全,如镀膜材料、基底材料、控制系统等。2.装载基底:将待镀膜的基底材料放置在蒸镀仪的样品台上,确保基底表面干净且无硬性颗粒。3.准备镀膜材料:根据实际需要,选择合适的镀膜材料,并将其放置在蒸镀仪...
等离子清洗机的优势:1:真空度:用皮拉尼原理测量精确到Pa,千帕是用压力规测试,不是一个量级的。2:传感器:用的进口的气体流量传感器,是质量流量计检测气体,精确度是通入流量的±1.5%。浮子流量计,是满量程的4%,而且浮子球是上下浮动,手碰一下乱跑,真实效果达不了那么高。4:功率是150W,国内都是统一的。5:2路流量计,质量流量计采集更精准,流量控制2个精密针阀调节,线性调节度较好。6:真空采集皮拉尼原理真空计,测量大气压到0.1Pa的绝对真空。7:通过精准的...
小型溅射仪利用高能离子束轰击靶材料,使其原子或分子从靶材料上解离,并沉积在基板表面上,形成覆盖层。通过调节离子束的能量和强度,可以实现不同性质的薄膜制备。这种技术被广泛应用于材料表面的改性和制备高质量薄膜材料。主要用于制备薄膜材料,如金属薄膜、氧化物薄膜等。这些薄膜具有良好的准晶结构和化学性质,广泛应用于光电子、信息技术、磁学、材料科学等领域。在选购小型溅射仪时,可以考虑以下几个因素:1.薄膜材料种类:不同的型号适用于不同种类的薄膜材料,如金属薄膜、氧化物薄膜、半导体材料等。...
怎么判断哪些东西可以封?1,高温不熔化。2、高温下不与石英管产生反应。3、液体没办法抽真空,液体里又氧气。对封管机场地的要求?氢氧水焊机需要通风。石英管封口要预留多长?要留50mm-70mm(石英管内如果是熔点低物品,最少70),夹头伸进去要30mm。封管机产品优势:1、每个设备出厂有经过氦质谱捡漏测试确保气密性2、设备磁流体密封件接触气体部分采用陶瓷轴承高成本带来的是耐腐蚀(普通轴承易生锈只要腐蚀轴承就会抱死不转)3、我们是最早一批研发生产此产品的供货商工程师们都有着丰富的...