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高精度大型真空探针台

简要描述:高精度大型真空探针台,移动滑块精度0.01mm,探针尖10μm,镀金钨针,物镜放大倍数19-135倍

  • 产品型号:KT-Z160T-RL
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-10-10
  • 访  问  量:204
详细介绍
品牌郑科探

高精度大型真空探针台,移动滑块精度0.01mm,探针尖10μm,镀金钨针,物镜放大倍数19-135倍

-196℃到400℃(液氮);

超高温度分辨率;

低温具有*稳定性

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

    晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

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高精度大型真空探针台

真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

﹣196~350

加热台温控误差

±1

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针  

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

显示屏

8

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm



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