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小型真空探针台高温热台

简要描述:小型真空探针台高温热台KT-0904T-R主要用于为被测芯片提供一个高温的变温测量环境,以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。

  • 产品型号:KT-0904T-R
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-09-18
  • 访  问  量:1177
详细介绍
品牌郑科探

小型真空探针台高温热台KT-0904T-R

高温无氧化测试:
当晶圆加热至300,400,500甚至更高温度时,氧化现象会
越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误
差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵
抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,探针座位于腔体外部,可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。



小型真空探针台高温热台KT-0904T-RL参数


真空腔体

类型

加热型350   或者加热制冷型 室温到350 室温到-190

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

φ90x40mm

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm

腔体抽气口

KF16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa 5分钟)  分子泵≤5E-3Pa30分钟)

样品台

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

26X26mm

样品台-视窗 距离

30mm(可选凹视窗间距15mm

样品台测温传感器

A    PT100铂电阻

样品台温度

室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃)

样品台测温误差

±0.2

样品台变温速率

高温10/min   低温5/min  最大值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温)

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.5

温度信号输入类型

PT100热电阻 (可选 K    S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2

电学性能

绝缘电阻 4000MΩ     介质耐压 200V    电流噪声 10pA

探针数量

4探针(可定做6探针)

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

12mm    ±6mm

X轴控制精度

5μm

Y轴移动行程

12mm    ±6mm

Y轴控制精度

5μm

Z轴移动行程

12mm    ±6mm

Z轴控制精度

5μm

数码显微镜

显微镜类别

物镜放大+电子放大

显微镜放大倍数

100

显微镜工作间距

50-150mm

相机分辨率

1080P  60  

相机信号输出

HDMI输出+USB输出

LED可调光源

LED光源

显示屏

5 屏幕一体机


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