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微型高低温真空探针台

简要描述:微型高低温真空探针台,这款真空变温探针台是专业变温真空晶圆流测试设计的专业变温真空探针台,满足晶圆变温光电测试需要,测试温度范围达到液氮温度 -190℃~350℃,特别适合极高温和极低温环境下晶圆真空变温测试和射频测试。

  • 产品型号:KT-0904T-RL
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-09
  • 访  问  量:26
详细介绍
品牌郑科探腔体材质304不锈钢

微型高低温真空探针台KT-0904T-RL是一款高性价比配置的真空高低温探针台,功能齐全,价格较低等特点。

高性价比真空高低温探针台系统

郑州科探仪器设备有限公司为用户提供了高性价比配置的真空高低温探针台,该系统配置了温度控制系统,为用户提供精准、稳定、高效的温度控制,节约用户的设备预算。

  配套了高精度PID温度控制器,用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况,确保温度测试的可靠性。同时,200W 大功率直流输出,可让样品台快速从-196℃上升至400℃,极大地提供了温控效率,为用户节省大量宝贵的实验时间。由于系统中温控部件均为直流配置,也大大地减少了加热部件的干扰,提供了系统 的漏电精度。

<strong><strong>微型高低温真空探针台</strong></strong>3轴2.png


真空变温探针台特点
测试温度:-190℃~350℃
适合高功率器件测试20kV DC/200A
即使在真空状态下,也可以使用外部操作型定位器(探头)移动致动器
良好的光和电屏蔽效果
KT-0904T-RL型探针台可用于霍尔效应测量

微型高低温真空探针台KT-0904T-RL技术参数;

真空腔体

类型

加热型350     或者加热制冷型  室温到350 室温到-190

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

φ90x40mm

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm

腔体抽气口

KF16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa 5分钟)  分子泵≤5E-3Pa30分钟)

样品台

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

26X26mm

样品台-视窗 距离

30mm(可选凹视窗间距15mm

样品台测温传感器

A         PT100铂电阻

样品台温度

室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃)

样品台测温误差

±0.2

样品台变温速率

高温10/min    低温5/min  最大值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温)

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.5

温度信号输入类型

PT100热电阻 (可选 K    S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)

辅助功能

温度数据采集并导出  实时温度曲线+历史温度曲线

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头  香蕉插头  线长1.2

电学性能

绝缘电阻 4000MΩ     介质耐压 200V    电流噪声 10pA

探针数量

4探针(可定做6探针)

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

12mm    ±6mm

X轴控制精度

5μm

Y轴移动行程

12mm    ±6mm

Y轴控制精度

5μm

Z轴移动行程

12mm    ±6mm

Z轴控制精度

5μm

数码显微镜

显微镜类别

物镜放大+电子放大

显微镜放大倍数

100

显微镜工作间距

50-150mm

相机分辨率

1080P  60   

相机信号输出

HDMI输出+USB输出

LED可调光源

LED光源

显示屏

5 屏幕一体机

 

 

 

 

 

 


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