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产品中心材料样品检测微型高低温真空探针台KT-0904T-RL微型高低温真空探针台
产品简介
微型高低温真空探针台，这款真空变温探针台是专业变温真空晶圆流测试设计的专业变温真空探针台,满足晶圆变温光电测试需要,测试温度范围达到液氮温度 -190℃~350℃,特别适合*温和极低温环境下晶圆真空变温测试和射频测试。
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微型高低温真空探针台KT-0904T-RL是一款高性价比配置的真空高低温探针台，功能齐全，价格较低等特点。
高性价比真空高低温探针台系统
郑州科探仪器设备有限公司为用户提供了高性价比配置的真空高低温探针台，该系统配置了温度控制系统，为用户提供精准、稳定、高效的温度控制，节约用户的设备预算。
配套了高精度PID温度控制器，用户可以清楚直观地了解了整体系统相关位置的温度情况，确保温度测试的可靠性。同时，200W 大功率直流输出，可让样品台快速从-196℃上升至400℃，极大地提供了温控效率，为用户节省大量宝贵的实验时间。由于系统中温控部件均为直流配置，也大大地减少了加热部件的干扰，提供了系统 的漏电精度。
真空变温探针台特点
测试温度：-190℃~350℃
适合高功率器件测试20kV DC/200A
即使在真空状态下，也可以使用外部操作型定位器（探头）移动致动器
良好的光和电屏蔽效果
KT-0904T-RL型探针台可用于霍尔效应测量
微型高低温真空探针台KT-0904T-RL技术参数；
真空腔体 | |
类型 | 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 | 304不锈钢 |
腔体内尺寸 | φ90x40mm |
腔体上视窗尺寸 | Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
腔体抽气口 | KF16 |
腔体进气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体出气口 | 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 | ≤0.05MPa |
腔体真空度 | 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
样品台 | |
样品台材质 | 304不锈钢 |
样品台尺寸 | 26X26mm |
样品台-视窗 距离 | 30mm（可选凹视窗间距15mm） |
样品台测温传感器 | A 级PT100铂电阻 |
样品台温度 | 室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） |
样品台测温误差 | ±0.2℃ |
样品台变温速率 | 高温10℃/min 低温5℃/min 最大值 |
温控仪 | |
温度显示 | 7寸人机界面 |
温控类型 | 标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） |
温度分辨率 | 0.1℃ |
温控精度 | ±0.5℃ |
温度信号输入类型 | PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） |
温控输出 | 直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
辅助功能 | 温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
探针 | |
电信号接头 | 配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
探针数量 | 4探针（可定做6探针） |
探针材质 | 镀金钨针 |
探针尖 | 10μm |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 12mm ±6mm |
X轴控制精度 | ≤5μm |
Y轴移动行程 | 12mm ±6mm |
Y轴控制精度 | ≤5μm |
Z轴移动行程 | 12mm ±6mm |
Z轴控制精度 | ≤5μm |
数码显微镜 | |
显微镜类别 | 物镜放大+电子放大 |
显微镜放大倍数 | 100倍 |
显微镜工作间距 | 50-150mm |
相机分辨率 | 1080P 60帧 |
相机信号输出 | HDMI输出+USB输出 |
LED可调光源 | LED光源 |
显示屏 | 5寸 屏幕一体机 |
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