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上海实验室真空PECVD射频模块薄膜均匀沉积

产品简介

上海实验室真空PECVD射频模块薄膜均匀沉积通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统CVD系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。

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更新时间:2023-12-21
厂商性质:生产厂家
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品牌郑科探应用领域电子

PECVD简介

   上海实验室真空PECVD射频模块薄膜均匀沉积PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。

  上海实验室真空PECVD射频模块薄膜均匀沉积通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统CVD系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。

上海实验室PECVD射频模块薄膜均匀沉积

KT-PE150S  性能

型号

KT-PE150S

KT-PE500Z

13.56MHz±0.005%

出范

0-150W

0-500W

功率稳定度

5W

射功

40W

出接

7/16,female  50 Ω

定度

5W

匹配方式

手动调节匹配

500W自动匹配

耦合方式

电感式耦合

辉光压力

30Pa

50/60Hz 220v±10%

70%

强制风冷

支持炉管直径

φ25-φ80

φ25-φ150

感应区

210mm

48KG

:H x W x D(mm)

600 x 600x 1100



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