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半导体气敏材料真空探针台

产品时间:2020-04-01

简要描述:

郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一半导体气敏材料真空探针台

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         基于真空探针台的红外探测器自动测试系统的研究

(1)导体气敏材料真空探针台硬件测试电路的设计:该部分主要为芯片的测试提供驱动电压和时序激励,同时完成像元响应电压信号的采集与处理,同时在数据采集部分设计有单端转差分网络,消除共模噪声的同时还可以增强模拟电压信号的驱动能力。

(2)真空探针台探针卡的设计:对于不同阵列的探测器芯片,本文中设计有与之相对应的测试探针卡,同时将偏置电压的产生电路直接集成于测试探针卡上,偏置电压可通过探针直接偏置到芯片上,避免模拟信号传输过程中受到的干扰。

(3)测试系统自动控制的实现:本设计基于VC++的开发平台,通过RS232协议控制真空探针台和基于FPGA的测试电路模块,并使用Matlab完成测试数据的处理和分析,最终实现对320×240和384×288系列芯片的自动选片测试。该自动测试系统实现了对非制冷红外探测器芯片晶圆和单片的自动测试,通过响应率、噪声等相关参数的测试结果完成对被测芯片整体性能的评估,并将测试结果以测试报告和wafermap的形式展示出来。此测试结果作为封装之前芯片选片的重要依据,极大的缩小了红外探测器的测试时间和封装成本。

 

 

      公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。

 

      目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、半导体气敏材料真空探针台  CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

 

      公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

 

温控器

加热温度

35-400℃

注意:热台温度和样品温度存在偏差 客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。

温控误差

±1℃

热电偶类型

PT100高精度传感器

温控表

宇电PID温控器

程序控温

1段(可选30段程序控温表)

加热功率

≤300W

加热电源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探针热台

腔体材质

304不锈钢

加工方式

一体式CNC精加工

内腔体尺寸

137X57X21mm  容积165ML

加热台尺寸

Φ35mm

观察窗内径

Φ45mm

观察窗材质

高透光石英玻璃

信号输出头

SMA母头   配线 SMA转BNC  1.5米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

抽气口

KF16

进气口

6MM卡套

使用正压

≤O.05MPa

使用负压

机械泵可获得真空≤10Pa  分子泵可获得真空≤10 -3 Pa

可扩展配件

气体液体注射口

4芯电信号接头

8芯电信号接头

SMA905 光纤接口

扩展5KV高压电极

升级30段控温仪表

移动探针

探针规格

探针粗Φ0.5mm    探针尖 10μm

上下移动距离

2.5mm

前后移动距离

±10mm

左右旋转距离

120°

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