手动探针台通常由坚固稳定的主体框架、探针支架与探针、承片台以及显微镜等部分组成。主体框架多为金属材料制成,保障了整个系统的稳定和耐用;探针支架可装载探针,并能在水平和垂直方向上进行微小移动及调整;承片台用于放置待测器件;显微镜则辅助观察。
测试人员把要测量的芯片放在承片台上,借助显微镜的放大功能,利用X-Y移动机构找到需探测的位置。之后,通过旋转探针座上的X-Y-Z三向旋钮,操控前部的探针(射频或直流探针)准确地扎到被测点。当探针接触到被测点后,便建立起电气连接。此时,可以将信号源接入,向芯片施加准确的电压或频率信号。同时,使用高精度示波器等检测设备,对芯片产生的电信号进行细致分析,以此准确评估芯片的电参数和整体性能。
手动探针台的使用注意事项:
1.稳定性保障:在使用手动探针台时,要确保其底座稳固并可靠固定,以避免不必要的晃动或移位,从而保证测量的稳定性和准确性。
2.高度调节适宜:根据测试目标,合理调整手动探针台的高度,使得探针能够轻松接触到测试点。通常可以使用手动旋钮或升降装置来调整高度。
3.准确定位操作:对于微小尺寸的测试点,可以使用显微镜或放大镜来辅助准确定位,确保探针准确地接触到所需测量的位置。
4.谨慎控制施力:在接触测试点时,严格控制施加到探针上的力度,避免因过度施力导致测试点损坏,或因施力过轻造成不良接触。
5.遵守安全规范:在使用探针台时需要遵守使用手册内的各项安全条例,如避免潮湿场所、禁止在高温环境下使用等;运输时应先拔掉电源线插头,并使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。
6.日常维护保养:使用完后需要注意保持设备清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘影响机械精度和电气性能;定期检查设备的各部件是否正常工作,及时发现并排除潜在故障。