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蒸镀仪、溅射仪和探针台新品发布

更新时间:2025-06-06点击次数:51

近期我司新升级了小型溅射、蒸镀仪器:1、腔体材质全铝合金一体加工成形。2、进气口直接在腔体侧壁整体加工进气管道减少至少3处管道连接口从而减小漏气故障率。3、设备宽度由435mm 减小到420mm。  4、溅射磁场加强。5、6两款产品全部预留了SMA扩展口,进行晶振或者其他信号输入输出。小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

2025款 1英寸微型探针台:修改了 3轴滑台加强刚性强度,增加了行程,提高了精度和使用寿命,腔体部分内径和高度加大增高,电接口升级了增强绝缘电阻和最高加电压上限。

蒸镀仪、溅射仪和探针台新品发布

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