小型溅射仪是种常见的表面处理设备，其原理是利用高能离子束轰击固体材料，以改变其表面性质。主要由溅射靶、工作室、真空系统、控制系统等组成。其中关键的部分是溅射靶和工作室。溅射靶材料是由所需要改变其表面性质的物质组成，如金属、陶瓷等。工作室是一个真空环境，用于避免氧气、水蒸气等对溅射过程的干扰。
在工作时，首先需要将工作室抽成高真空状态。通过真空泵抽取工作室内的气体，减少对离子束的干扰。接下来，将溅射靶放置在工作室内，并将需要处理的物体(如基板)放在靶的正对方向。然后，靶与工作室中的气体形成离子束和中性粒子束，向基板发射。
离子束通过靶材料的轰击，使其表面原子或分子从靶材料上解离，形成离子。这些离子沿着溅射的方向飞向基板，与其表面发生碰撞。碰撞后，离子的能量和动量转移给基板表面的原子或分子，使其进入较高的能级。通过这种能量和动量的转移，溅射靶材料的物质被转移到基板表面，形成覆盖层。
这个过程有一定的选择性，即只有一部分靶材料的原子或分子能够从靶材料上解离并达到基板表面。这是因为，只有在靶材料中具有足够的表面能量的原子或分子才能从表面解离，并且在离子束的轰击下具有足够的能量到达基板表面。
通过控制离子束的能量和强度以及溅射时间，可以调节覆盖层的厚度和成分。此外，也可以通过改变靶材料的种类，实现不同性质的覆盖层的制备。
小型溅射仪的维护保养方法：
1.定期清洗溅射室内的沉积物和杂质，以保持室内的清洁。
2.定期检查溅射靶和固定样品的装置，确保其正常工作和稳定性。
3.定期检查和更换溅射材料，以保证溅射质量和效果。
4.定期检查和维护真空泵和气体供应系统，确保其正常运行。
5.定期校准和调试溅射仪的工艺参数，以确保其性能稳定。
6.注意避免溅射室与外部环境的下雨和潮湿，以避免影响仪器的正常使用和寿命。
7.对于长时间不使用的溅射仪，应将其放置在干燥通风的环境中，并注意防尘、防潮。
更新时间：2023-10-09
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