真空分子泵机组是一种高真空抽气设备。它通常由分子泵和机械泵两部分组成。分子泵主要用于排除气体中的微粒和分子，可以实现较高的真空度。机械泵用于将未被分子泵排除的余气压缩并输出。它的该组件是实现高真空度的关键。它使用电场作用于介质分子，从而达到排气目的；泵用于将未被分子泵排除的气体压缩并输出；分子泵操作时，易产生大量热量，从而影响其性能和寿命。因此，冷却系统是不可少的；控制系统用于监测和控制各个组件的运行状态，并确保整个过程顺畅无误。
真空分子泵机组可用于大规模工业化生产，广泛应用于真空冶金、真空闪镀、真空制冷、微电子工业等领域。主要由三部分组成：气体扩散阀、旋片泵、离子泵。其中，离子泵与旋片泵之前必须预先安装一束速率计，以避免气体被离子泵吸收而造成污染，并可测速度。利用高速运动的分子轰击低压区分子和壁面分解技术，把分解出来的气体从泵内排除，使灌入容器内的气体通过蒸气或气相输送到真空泵侧。同时，由于分子泵的尺寸小，所以能够处理大分子和长链分子的气体，甚至可将水分子清除 。
真空分子泵机组的维护保养方法：
1.泵油更换
根据使用周期，必须定期更换泵油。通常，每半年更换一次泵油，其中，离子泵和旋片泵的更换间隔时间不超过3个月。
2.启动前检查
开动前要检查所有管路连接件是否牢固；离子泵及其与旋片泵两者之间安装恰当；新加入的气体必须清洁干燥，即气体温度低于泵上壳的环境温度，并尽可能避免携带灰尘。
3.使用过程中的问题处理
在实际应用中，如果发现真空分子泵磨损到一定程度时，经常出现漏油、过度振动或产生噪声的情况，需要立即停止操作并将其送至专业维修公司进行处理。
更新时间：2023-04-24
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