分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、泵体加热控制、电器控制系统、水冷却保护控制等。
拆开包装箱，将设备从箱体中取出，检查设备有无损坏，将设备的电源线接好，将地线与设备机壳连接。如果是三相供电方式，初次通电时需要观察机械泵的相序，打开总电源开关，观察分子泵机组电源的相序指示灯，如果相序指示灯亮表明机械泵相序正常；如果相序指示灯不亮表明机械泵相序不正常。关掉总电源，将三相电源线中的任意两相对调，以确保机械泵相序正确。
安装时应注意以下几点：
1、设备安装应平地上竖直方向上与垂直方向夹角小于5度。安装后要固定脚轮。
2、真空系统各连接部位应密封可靠，保证无泄漏发生。
3、水路系统接头处应无滴漏。
4、建议把从机械泵排出的气体引出室外。
分子泵机组使用注意事项：
1、应经常检查各导线及接地线是否短路，其绝缘层是否破损漏电。
2、真空腔体内应保持清洁，经常清除杂物。
3、装入炉底料盘中的工件应符合要求，不能过高过大，以免炉丝受热变形与工件接触造成短路现象。
4、设备运行时要注意保养，定期对冷却水系统进行维护，以防止水垢的大量凝结，影响冷却效果。
5、工作场地应保持卫生整洁，以免尘土污染真空室。
更新时间：2022-08-08
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