真空探针热台能方便、准确、快速地找到放置在安装台上的样品上所需要测试点，比如三极管的基区、发射区等，将探针台上的探针和测试点可靠接触，将配套测试仪器上设置的测试条件通过探针加到被测试管芯上，实现对管芯参数测试的目的。在半导体芯片的生产和研制过程中，需要对芯片样品的各项参数进行过程测试和终端测试，完成测试所需的测试对准设备是探针台。
真空探针热台探针台希望在上片后无需人工对准，就能从晶圆的一个晶粒(一点)开始检测，晶圆上片后，探针下方的开始位置往往并不是一点；为了让一点快速的移至探针下方，对平台的运行轨迹进行了调整，螺旋定位法可以以平台上开始位置为中心。
螺旋式步进运行，配合镜头的图像识别技术，一步一识别，逐步扩大范围，直至在镜头视野中找到晶圆中的特殊晶粒(特殊点)；由于一点与特殊点的位置相对固定，所以找到了特殊点即找到了一点。螺旋定位法能快速移至探针正下方且长时间运行稳定；此自动定位方法不仅节省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了探针台的工作效率。
在现有技术中，真空探针热台中的安装台与探针两者是相对固定的，在样品参数测试时，通过调节探针座的位置，以调节探针相对于安装台的位置，让探针与样品的测试点分离或接触，或者在样品参数测试时，通过驱动组件带动支撑件作上下移动，实现支撑件上的探针与安装台两者相对位置的调节，以使探针与样品的测试点快速分离或接触，该操作过程方便，效率高。
更新时间：2021-05-14
点击次数：1058
当前位置：
