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真空探针热台可采用螺旋定位法找寻位置中心

发布时间:2021-05-14浏览:222次

   真空探针热台能方便、准确、快速地找到放置在安装台上的样品上所需要测试点,比如三极管的基区、发射区等,将探针台上的探针和测试点可靠接触,将配套测试仪器上设置的测试条件通过探针加到被测试管芯上,实现对管芯参数测试的目的。在半导体芯片的生产和研制过程中,需要对芯片样品的各项参数进行过程测试和终端测试,完成测试所需的测试对准设备是探针台。

  真空探针热台探针台希望在上片后无需人工对准,就能从晶圆的一个晶粒(一点)开始检测,晶圆上片后,探针下方的开始位置往往并不是一点;为了让一点快速的移至探针下方,对平台的运行轨迹进行了调整,螺旋定位法可以以平台上开始位置为中心。
  螺旋式步进运行,配合镜头的图像识别技术,一步一识别,逐步扩大范围,直至在镜头视野中找到晶圆中的特殊晶粒(特殊点);由于一点与特殊点的位置相对固定,所以找到了特殊点即找到了一点。螺旋定位法能快速移至探针正下方且长时间运行稳定;此自动定位方法不仅节省了人力成本,提高了定位精度,又大大地提升了探针台的工作效率。
  在现有技术中,真空探针热台中的安装台与探针两者是相对固定的,在样品参数测试时,通过调节探针座的位置,以调节探针相对于安装台的位置,让探针与样品的测试点分离或接触,或者在样品参数测试时,通过驱动组件带动支撑件作上下移动,实现支撑件上的探针与安装台两者相对位置的调节,以使探针与样品的测试点快速分离或接触,该操作过程方便,效率高。

 

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