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磁控溅射技术原理及应用简介
磁控溅射技术原理及应用简介一、磁控溅射原理磁控溅射是一种常用的物理气相沉积(PVD)的方法,具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好,成分接近靶材成分等众多优点。传统的溅射技术的工作原理是:在高真空的条件下,入射离子(Ar+)在电场的作用下轰击靶材,使得靶材表面的中性原子或分子获得足够动能脱离靶材表面,沉积在基片表面形成薄膜。但是,电子会受到电场和磁......
气体配比器是为气体分析、测试类仪器的标定、校准和检测的需求而开发的产品,能实时配制不同种类、不同浓度的的气体。很多场合包括实验室、环保企业、生物制药、环境监测、烟气分析、煤矿冶金等。是对已知标准浓度的气体进行稀释,气体稀释仪根据质量流量混合法,通过程序控制、实现全自动智能数字化气体稀释仪,其所有核心部件是质量流量控制器......
纤维(Fiber)是由连续或不连续的细丝组成的物质,可分为天然纤维和化学纤维。这两大类纤维被广泛应用于纺织[1]、环保[3]、生物医疗[4]等多个领域。由于纤维材料的表面物理形态和化学结构是决定材料性能的主要因素,通常需要利用相关的显微设备去观察纤维表面的微观形貌等信息,从而去判断纤维材料的基本性能。扫描电子显微镜作为......
小型溅射仪的工作原理是指电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子会受到电场和磁场作用,产生E(电场)&tim......
问:1.质量流量控制器,为什么以SCCM和SLM为单位?答:从测量原理讲,热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度,采用毛细管温差量热法进行测量,流量控制器测量的就是质量流量,但显示出的数值是通用的标况(101325Pa;0℃)体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度,因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质......
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