真空镀膜中 Z因子和工具因子是什么？

在溅射镀膜工艺中，z因子和工具因子(Tooling值)是两个关键参数，分别用于描述薄膜沉积行为和修正设备误差。以下是具体解析:

一、z因子的定义与计算

1.概念:z因子是描述薄膜沉积过程中粒子行为的参数，反映粒子在气相中的扩散程度，直接影响薄膜的粒子尺寸分布和性能优化。

2.计算公式:

二、工具因子(Tooling值)的定义与计算

1.概念:工具因子是量化镀膜机内基片与蒸发源(或溅射靶材)相对位置关系的参数，用于修正膜厚误差，确保沉积速率的空间分布均匀性。

2.计算逻辑:

薄膜厚度(t)与工具因子(k)的数学关系为:

需通过实验标定具体数值，以消除设备结构或材料特性引起的膜厚偏差。

3.应用场景:若计算失准，可能导致膜厚均匀性下降(边缘与中心差异超+5%)、重复性失效或材料浪费超30%。

三、两者的关联与差异

。关联性:均用于优化薄膜性能，z因子侧重粒子行为预测，工具因子侧重设备位置修正。

。差异:z因子属于理论模型参数，工具因子属于工程标定参数。

以上参数需结合具体工艺(如磁控溅射)和材料特性(如靶材纯度)综合调整。