真空加热台是通过真空环境与精准控温实现材料加热处理的设备，广泛应用于半导体、电子封装、材料烧结等领域。其核心组件包括加热系统、真空腔体、密封装置、温控模块及真空泵组。养护目标是保持设备性能稳定、延长使用寿命、避免污染或操作失误导致的故障。
日常维护细节
1. 表面清洁与防尘
- 每日工作结束后，用无尘布擦拭腔体外部及控制面板，防止灰尘堆积影响散热或电路。
- 腔体内壁需每月使用酒精棉片轻拭，避免残留物附着；若处理挥发性材料，操作后立即清洁。
- 密封槽定期清理碎屑，防止堵塞导致真空度下降。
2. 密封系统检查
- 每日开机前检查O型圈是否变形、硬化或油污污染，若老化需及时更换(建议每3个月替换一次)。
- 涂抹真空脂时需均匀覆盖密封面，避免过量导致脂类进入腔体污染样品。
3. 温控系统校准
- 每日核对温度传感器数据，确保显示值与实际温度误差<±1℃。
- 每季度用标准温度计(如热电偶)进行多点校准，记录偏差并调整控温程序。
4. 真空泵维护
- 旋片式真空泵需每周检查油位，不足时加注规定型号的真空泵油，每半年更换一次。
- 涡轮分子泵需每月检查冷却水路，避免堵塞导致过热。
周期性深度养护
1. 加热元件检测
- 每季度断电后用万用表检测加热丝电阻值，偏离额定值>10%时需更换。
- 陶瓷隔热层若出现裂纹或脱落，需清理残渣并修补，避免短路。
2. 真空系统检漏
- 每年进行一次压强测试：关闭真空泵，观察腔体压强上升速度，若10分钟内压强回升>10%，需排查泄漏点(重点检查阀门、管路接口)。
- 使用氦质谱检漏仪定位微小漏点，修复后重新做保压试验。
3. 电气系统检查
- 每半年检查接线端子是否氧化，紧固松动的电缆接头。
- 控制主板需防尘防潮，可使用防静电罩覆盖。
长期停用维护
1. 设备封存前处理
- 腔体内放置干燥剂，密封门留1~2mm缝隙避免密闭导致湿气凝结。
- 断开电源，拔下真空泵与温控器插头，覆盖防尘布。
2. 重启前准备
- 解除密封状态后，抽真空至正常值再升温，避免仓促加热导致密封失效。
- 检查各电机、阀门动作是否顺畅，补充润滑剂。
常见故障与应急处理
1. 真空度不足
- 优先检查密封圈、阀门是否漏气，其次排查真空泵油位或管路堵塞。
- 紧急处理：暂停实验，手动关闭真空阀，缓慢放气后重启真空泵。
2. 温度失控
- 立即切断加热电源，检查温控器参数是否被误改，确认热电偶是否接触不良。
- 禁止强行超限设置温度，避免烧毁加热元件。
3. 异常噪音
- 真空泵异响可能因缺油或吸入杂质，需停机清理滤网。
- 腔体内部异响需停机检查隔热层或样品架是否松动。
安全操作规范
1. 高温防护
- 加热过程中禁止直接触碰腔体外壳，使用隔热手套操作。
- 停机后需等待腔体降温至60℃以下方可开盖。
2. 真空操作风险
- 开盖前必须解除真空状态，防止腔体内外气压差导致门体弹开伤人。
- 定期检查安全阀功能，确保超压时能自动泄压。
3. 化学品管理
- 处理腐蚀性气体或液体后，需对腔体进行中性化清洗(如稀碱液中和酸性残留)。
更新时间：2025-06-25
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