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晶振片故障现象、原因及解决办法

更新时间:2024-01-16点击次数:551

探头故障现象原因排除方法

1、沉积期间厚度读数大跳变

a. 不良晶片产生   解决方案:更换晶

b. 晶片接近其使用寿命  解决方案:更换晶

c. 晶片支承座表面有杂物   解决方案:用酒精或细砂皮清洗支承座

d. 来自溅射源的频率干涉   解决方案: 检查接地,仪器远离溅射

2、沉积期间晶体停振,但晶片寿命未到

a. 晶片被来自镀膜源熔化材料小熔滴撞击   解决方案:镀膜起始阶段用档板遮蔽后移开

b. 不良晶片   解决方案: 更换晶片

c. 晶片支承座内腔表面有杂质   解决方案:清洗

3、晶体在真空中振荡,单暴露空气后停振

a.晶体接近使用寿命,暴露空气导致薄膜氧化而引起薄膜压力增加   解决方案: 更换晶片

b. 晶片积累了过多水分   解决方案:暴露空气之前关掉探头冷却水