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小型金属溅射镀膜机优点

更新时间:2023-08-16点击次数:955

                                                     郑科探小型溅射仪功能优势




1、样品台旋转,多样品同时镀膜时,镀膜厚度比较均匀。


2、预溅射挡板功能,刚开始镀膜的时候腔室里会有些杂质,挡板可以保护样品,提高薄膜质量


3、带有水冷系统,可以长时间溅射镀膜,厚度可达1微米以上。


4、直流磁控溅射,提高附着力,溅射速率快,比离子溅射快上一个量级。针对某些金属最快能达到1-2纳米每秒,


5、不但可以电镜制样,还可以制作金属电极。


6、可扩展膜厚监测,监测薄膜厚度。


溅射仪使用需注


1 靶材需要良好的导电性, 如果具备这个条件  可以镀    


2 遇到容易氧化的金属 需要配备分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氩气维持真空到1Pa左右镀膜的金属接近本色