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郑科探小型溅射仪KT-1650PVD如何安装

更新时间:2023-03-16点击次数:929

KT-1650PVD小型溅射仪使用指南

1、 所需配套设备:小型溅射仪,水冷机,真空泵,高纯氩气

2、 配套设备安装准备工作

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水冷机: (此设备为选配配件)本公司配备水冷机型号 JZ-3000.进出水口接 口为 6mm 快插接头,配套 6 米透明 PU 管,外径 6mm 内径 4mm 加水 6 升。建 议加入纯水、去离子水,如没有条件加入自来水也可。

若自行准备水冷机,请匹配合适接头

安装方法:将设备背面进出水口连接设备背面进水口,公司标配 6m 透明 PU 管, 可根据现场实际情况进行裁剪。(设备背面接口无进出水口之分,可任意接)

真空泵:(此设备为选配配件)本公司所配备的是 8m³/h(2.2L/s),KF25 标准接口,及 1200mm 长波纹管。

若自行配备真空泵,请匹配合适大小接头及波纹管

安装步骤

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把加油口打开,并将随货的一壶油全部倒入加油口(油量会超过最高刻度,属正 常现象),将出气口打开,可根据现场实际情况自行安装油雾过滤器或者出气管道排到室外 或者通风橱。注:出气口需保持畅通状态,不可堵塞 进气口连接波纹管,与溅射仪左侧真空挡板阀连接。

高纯氩气:小型溅射仪工作中需要用到高纯氩气,所以需要自行准备高纯 氩气。本公司配备的管道为外径 6mm 内径 4mm 聚四氟管道,请匹配合适的减 压阀及进气接头。设备进气压力为不大于 0.1MPa。

设备安装及准备工作

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将白色聚四氟管道如上图安装至设备背面进气口,并用扳手锁紧

配件安装

靶材:直径 2 英寸,厚度 0.3mm-3mm

靶材的安装

先分别取下屏蔽罩、靶材压环、靶材,将需要的靶材和靶材压环紧紧贴住, 用 3 颗螺丝错开锁紧压环,拧上屏蔽罩。屏蔽罩距离靶材压环距离 3mm 左右,

不可将屏蔽罩与靶材压环接触,以免造成设备短路

安装基底

分别取下玻璃罩和样品台,将衬底固定到样品台上,固定好的样品水平放置在基底座上面,并且三个齿轮要相互咬合,最后放好玻璃罩,盖好上盖。

使用前检查

1、检查水箱里面是否有水打开冷水机电源,检查水冷接口是否连接好,观察有没有漏水的现象 (正常情况不漏水一个月检查一次)

2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之间(油有没有发黄,发黄说明油有杂质需要刚换),

3、氩气压力值是否在 0.1MPa 以下,

4、打开溅射仪电源,点击挡板打开按键,观察腔体内样品台是否旋转顺畅,如有卡顿及时按下挡板复位按键。

    溅射流程: 溅射操作前一定要打开水冷

顺时针关闭气体调节阀和放气阀,旋转真空泵手柄至最大值,打开真空泵开关,视线关注触摸屏上的真空度是否有变化,如果无变化,将手往下压住腔体密 封上盖(不要用力过大),再查看真空度直到下降至 2Pa 以下,旋钮气体调节阀 到稳定到 4Pa 左右,并保持 5 分钟使腔体内部充满氩气,开始溅射。

    手动模式:设置样品台转速在 0-8r/min,若不需要旋转可设置为 0,点击挡板复位按钮,使挡板遮挡基底。设置溅射电流,时间需要自己计时,溅射完成后,点击停止运行,并点击挡板停止旋转(此时不需要挡板复位)。如果想自己探索

溅射速率,及时记下溅射电流、电压、功率和时间。

    自动模式:预溅射 1:清除靶材上的杂质。预溅射 2:升温,稳定电流 设置预溅射时间和电流(T1 和 T2),然后设置沉积的时间和电流(T3)

溅射电流根据靶材不同设置电流不同,观察溅射电压和溅射功率的值,溅射 电压通常在 315V 以上,最好溅射效果在 330V-340V 范围内。(若电压上不去,

可将靶材拆下,用细砂纸打磨靶材背面和溅射靶材座,使他们良好接触(时间长

会氧化))

界面操作完成后,先关闭气体调节阀和真空泵手柄,再逆时针旋转放气阀,平衡内外气压,打开玻璃罩上盖,取出样品台,拿下样品。关闭水源、真空泵、溅射仪,最后关闭电源总开关。