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微电容单通道叉指电极真空探针台用途介绍

更新时间:2023-03-03点击次数:1148

 叉指微电极因其微小的电极间距结构,可用于各种小型化传感器。对于传统分析检测,包括色谱法、光谱法、质谱等方法,大多都需要昂贵的仪器和多种操作步骤,使得许多实际问题仍面临困难。开发高灵敏度、低成本、小型化的传感器尤为重要。本文综述了叉指微电极的研究进展,介绍了基于叉指微电极的传感器在各领域的广泛应用。

 小型真空探针台郑科探 KT-Z4019MRL4T是一款性高价比配置的真空高低温探针台。

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高温400 -196 测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜。公司致力于各类探针台,(包括手动与自动探针台、双面探针台、真空探针台、)、显微镜成像、光电一体化的技术研发,拥有国内专业的技术研发团队,在探针台电学量测方面拥有近十年的经验团队。

微电容单通道叉指电极探针台

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微电容单通道叉指电极探针台KT-Z4019MRL4T

真空腔体

类型

高温型室温到400℃

高低温型 室温到400℃    室温到-196℃

腔体材质

304不锈钢 6061铝合金 可选

腔体内尺寸

127mmX57mmX20mm

腔体外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔体重量

不锈钢材质 约1.5KG     铝合金材质 约0.5KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

腔体抽气口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体真空测量口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体进气口

6mm快拧 或 6mm快插

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口


腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa (5分钟)  分子泵≤5E-3Pa(30分钟)

样品台

样品台材质

不锈钢 银铜合金 纯银块

银铜合金 纯银块

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm)

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400℃

室温到400℃  室温到-196℃

样品台测温误差

±0.5℃

样品台升温速率

高温100℃/min 最大值     低温7℃/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100   (可选K  S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热

直流线性电源加热+液氮流速控制器

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

温控器尺寸

32cmX170cmX380cm

温控器重量

约5.6KG

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针(可扩展5探针)

探针材质

镀金钨针 (其他材质可选)

探针尖

10μm

手动探针移动平台

X轴移动行程

20mm      ±10mm(需手动推动滑台)

X轴控制精度

≥500μm

R轴移动行程

120°      ±60°(需手动旋转探针杆)

R轴控制精度

≥500μm

Z轴移动行程

2mm      ±1mm

Z轴控制精度

≤50μm(需手动螺纹调节探针杆)