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读懂流量计关键参数

发布时间:2022-04-21浏览:124次

问:1.质量流量控制器,为什么以SCCM和SLM为单位?

答:从测量原理讲,热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度,采用毛细管温差量热法进行测量,流量控制器测量的就是质量流量,但显示出的数值是通用的标况(101325 Pa; 0℃)体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度,因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质量。SCCM 与 SLM 为体积流量的行业标准单位,代表标况下的体积流量。SLM(Standard Liter per Minute)是表示每分钟标准升。SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)是表示每分钟标准毫升。

问:2.流量控制器对使用条件和环境有什么要求?

答:通常情况是环境温度,流量规格,压力根据产品的型号不同也有差异。

问:3.内漏与外漏区别是什么?

答:内漏是指气体整个气路内部泄漏,主要是电磁调节阀关不死造成的;外漏是管路中气体漏到气路外部,主要是接头密封不严造成的。

问:4.设定点精度与满量程精度的区别是什么?

答:设定点精度是相对于设定点本点的精度,满量程精度是相对于满量程流量的精度。举例:量程为 100SCCM 的流量控制器,当设定 50SCCM 时,其设定点精度为±0.5SCCM,即 50×(±1%)=±0.5SCCM;满量程精度为 ±1SCCM,即100SCCM×(±1%)=±1SCCM。

问:5.什么是产品响应时间?

答:当流量设定点发生变化时,流量控制器的流量稳定达到流量设定点的一定范围内的最短时间。响应时间又分为气特性响应时间和电特性响应时间,气特性响应时间是指实际流量达到设定值所需的时间,电特性响应时间是指流量控制器的输出信号达到设定值所需时间,一般来说气特性响应要快于电特性响应。




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