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1100℃ 1500℃ 高温真空探针台温度稳定±1℃

更新时间:2022-01-26点击次数:1202

 1100℃  1500℃ 高温真空探针台温度稳定±1℃

  样品台26x26mm 同时可用于光学测试电学测试

光学反射透窗距样品间距9mm

可扩展透视窗透孔2mm

电学测试4探针 外接3同轴bnc

腔体不锈钢材质 180x90x37mm上下面水冷

        该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达<5Pa分子泵可达<-3Pa。真空信号连接处使用真空电极信号接头,保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面,探针顶尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处,外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。


 


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