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真空探针热台安全注意事项

更新时间:2021-12-08点击次数:1149
  真空探针热台可进行真空环境下的高低温测试(4.2K~500K),可升级加载磁场,低温防辐射屏设计,样品台采用高纯度无氧铜制作,温度均匀性更好,温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置,支持光纤光谱特性测试,兼容高倍率金相显微镜,可微调移动,器件的高频特性(支持频率上达67GHz),探针热沉设计,LD/LED/PD的光强/波长测试,自动流量控制,材料/器件的IV/CV特性测试等。
  真空探针热台关机操作:
  (1)所有圆片测试完毕后,载片吸盘上没有圆片且已回到右下角上料位置,此时可以关机。
  (2)关闭显微镜照明灯开关。
  (3)关闭自动探针台电源模块上的主机电源。
  (4)关闭自动探针台总电源(即电源插座开关),确认散热风扇处于停止状态。
  (5)关闭真空阀(顺时针为关)。
  (6)关闭压缩空气阀(顺时针为关)。
  真空探针热台安全注意事项:
  (1)在没有真空或压缩空气(或压力不足)的情况下严禁开机测试。
  (2)为了保护设备,开机时必须先开真空和压缩空气阀,再开自动探针台电源模块上的主机电源;关机时必须先关自动探针台电源模块上的主机电源,再关真空和压缩空气阀。
  (3)打开自动探针台电源模块上的主机电源之前,必须确认散热风扇处于转动状态,不正常工作可能会烧坏主机电源。
  (4)设备正常测试时严禁打开设备上的参数设置面板和操作控制面板。