产品展示
PRODUCT DISPLAY
产品展示您现在的位置: 首页 > 产品展示 > 材料样品处理 > 小型溅射仪 >石英腔体小型溅射仪

石英腔体小型溅射仪

产品时间:2020-05-29

简要描述:

KT-Z1650CVD石英腔体小型溅射仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

在线咨询 点击收藏

      郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一。   公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!

       目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉   CVD供气系统   等离子清洗机   石英腔体小型溅射仪   石英腔体小型蒸镀仪  石英管真空封口   半导体检测等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

    KT-Z1650CVD石英腔体小型溅射仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

 

 

石英腔体小型蒸发镀膜仪技术介绍:

针对市场上其它型号石英腔体小型蒸发镀膜仪我们做如下改进 

1 腔体扩充口可增加扩展口  最大可扩展KF40接口方便连接分子泵 或 晶控传感器

2 样品可旋转 最大转速20转每分钟 使镀膜样品更均匀

3 轻旋转机械手柄 样品高度可精细调节 样品距离靶材距离可精确到1mm

4 电动挡板 使用人机界面程序控制打开或者关闭时间

5 可通过人机界面手动或者使用编程自动控制预蒸发 恒定功率输出  变换功率输出 定时打开挡板(时间单位 秒)关闭挡板 样品转速  工艺可存储  工艺名称可改 利如 镀银200纳米厚

6 此产品已申请多项技术 抄袭请慎重!!!

 

控温方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤800W

最大输出电压电流

电压≤10V  电流≤80A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型

电控

样品室

石英腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品热源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1600℃

蒸发坩埚容积

3ML

真空法兰

KF25抽气口  KF25扩展口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

1 膜厚在线测试    2 分子泵

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服