品牌 | 郑科探 | 溅射气体 | 详询 |
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样品台尺寸 | 样品/详询mm | 控制方式 | 样品/详询 |
样品仓尺寸 | 样品/详询mm | 靶材尺寸 | 样品/详询mm |
靶材材质 | 样品/详询 | 价格区间 | 面议 |
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子 |
郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为老师 同学欢迎和信任的品牌之一。 公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉 CVD供气系统 等离子清洗机 石英腔体小型溅射仪 石英腔体小型蒸镀仪 石英管真空封口 半导体检测等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
KT-Z1650CVD石英腔体小型溅射仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
石英腔体小型蒸发镀膜仪技术介绍:
针对市场上其它型号石英腔体小型蒸发镀膜仪我们做如下改进
1 腔体扩充口可增加扩展口 大可扩展KF40接口方便连接分子泵 或 晶控传感器
2 样品可旋转 大转速20转每分钟 使镀膜样品更均匀
3 轻旋转机械手柄 样品高度可精细调节 样品距离靶材距离可精确到1mm
4 电动挡板 使用人机界面程序控制打开或者关闭时间
5 可通过人机界面手动或者使用编程自动控制预蒸发 恒定功率输出 变换功率输出 定时打开挡板(时间单位 秒)关闭挡板 样品转速 工艺可存储 工艺名称可改 利如 镀银200纳米厚
6 此产品已申请多项技术 抄袭请慎重!!!
控温方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
大功率 | ≤800W |
大输出电压电流 | 电压≤10V 电流≤80A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
样品室 | 石英腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 (大可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品热源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1600℃ |
蒸发坩埚容积 | 3ML |
真空法兰 | KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 1 膜厚在线测试 2 分子泵 |
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