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采购低温探针台

产品时间:2020-04-22

简要描述:

采购低温探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境,以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。

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     采购低温探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境,以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。

3A特性:

密封性-------防尘,防油防水污染,此种接口密封性设计能安全防

尘防油防水或其它污染,这就减少了常规的维护,

从而降低了总的费用.

防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境,此独有的设计保证

了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙

防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标

本被损坏,保证提高产量和降低产品成本

 

采购低温探针台高低温控制系统

   

控温系统采用温控仪表配置固态继电器、热电偶形成闭环PID控

 

温和自整定调节,智能化30段可编程控制,控温精准可达到±1℃,

 

显示精度1℃,温度均匀性±3℃;

   

加热器220V供电,温度500℃,液氮制冷,最低温度可达到-130℃。

实验腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

内腔体尺寸

φ140x180

加热台材质

304不锈钢

观察窗尺寸

φ75

加热台尺寸

50x50

加热台温度

室温-350℃可调

加热台温控误差

±1℃

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

真空抽气口

KF25

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

进气阀门

高精密针阀

抽气阀门

KF25真空挡板阀

压力表

机械压力表 -0.1-0.15mpa

信号电极

4个

探针数量

4个

探针材质

φ1.5钨针   其他材质可选

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

≤0.1MM 

Y轴移动行程

13MM    ±6.5mm

Y轴控制精度

≤0.05MM 

Z轴移动行程

13mm   ±6.5mm

Z轴控制精度

≤0.05MM 

信号电极

电极芯

1芯

电极引出接头

BNC母头

电极引出线

铜网信号屏蔽线

BNC引出接头

X4

额定电流

≤5A

额定电压

≤220V

电极芯直径

φ1mm

接触电阻

≤5MΩ

绝缘电阻

≥1000 MΩ

外壳接地

电子显微镜

电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通

 

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