产品时间：2020-04-22
采购低温探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。
采购低温探针台系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。
3A特性：
密封性-------防尘,防油防水污染，此种接口密封性设计能安全防
尘防油防水或其它污染，这就减少了常规的维护,
从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境，此独有的设计保证
了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标
本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
采购低温探针台高低温控制系统
控温系统采用温控仪表配置固态继电器、热电偶形成闭环PID控
温和自整定调节，智能化30段可编程控制，控温精准可达到±1℃，
显示精度1℃，温度均匀性±3℃；
加热器220V供电，温度500℃，液氮制冷，最低温度可达到-130℃。
实验腔体 | |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
内腔体尺寸 | φ140x180 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
观察窗尺寸 | φ75 |
加热台尺寸 | 50x50 |
加热台温度 | 室温-350℃可调 |
加热台温控误差 | ±1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽气口 | KF25 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
进气阀门 | 高精密针阀 |
抽气阀门 | KF25真空挡板阀 |
压力表 | 机械压力表 -0.1-0.15mpa |
信号电极 | 4个 |
探针数量 | 4个 |
探针材质 | φ1.5钨针 其他材质可选 |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
X轴控制精度 | ≤0.1MM |
Y轴移动行程 | 13MM ±6.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.05MM |
Z轴移动行程 | 13mm ±6.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.05MM |
信号电极 | |
电极芯 | 1芯 |
电极引出接头 | BNC母头 |
电极引出线 | 铜网信号屏蔽线 |
BNC引出接头 | X4 |
额定电流 | ≤5A |
额定电压 | ≤220V |
电极芯直径 | φ1mm |
接触电阻 | ≤5MΩ |
绝缘电阻 | ≥1000 MΩ |
外壳接地 | 是 |
电子显微镜 | |
电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通 | |
