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气体液体配比器

产品时间:2020-04-15

简要描述:

气体液体配比器主要用于气体液体混合配比,液体加热产生蒸气并用其他气体做载气,为等离子沉积有机物cvd沉积 氢燃料电池或其他特定设备提供气氛环境. 控制方式采用集成化模块功能延伸性强 根据客户要求随意添加,$n该气体配比器也可以选择多种液

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  气体液体配比器主要用于气体液体混合配比,液体加热产生蒸气并用其他气体做载气,为等离子沉积有机物cvd沉积 氢燃料电池或其他特定设备提供气氛环境. 控制方式采用集成化模块功能延伸性强 根据客户要求随意添加,


         该气体配比器也可以选择多种液

 

 

气体液体配比器技术资料

流量计类型

质量流量计

产品类型

高精度型/快速响应型

产品精度

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM ( 0~1,2,3,5,10,20,30)  SLM

准确度

±1 % F.S.   (20,30SLM:  ±2 % F.S.)

线性

±0.5 % F.S.  (20,30SLM:  ±2 % F.S.)

工作压差范围

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa  (14.5~72.5 psid) >10SLM:0.1~ 0.3 MPa   (14.5~43.5 psid)

耐压

0.6 MPa   

连接管道

φ3-6mm316不锈钢管道

单向阀开启压力

0.02Mpa

进液口规格

3mm卡套接头

混合罐加热温度

室温-200℃

混合罐容积

50ml

温度传感器类型

PT100

控温精度

±1℃

整机功率

400W

可选附件  微量注射泵

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